广东 大力推动刻蚀机等光芯片关键装备研发和国产化替代 网易财经10月21日讯广东省人民政府办公厅印发,广东省加快推动光芯片产业创新发展行动方案,2024—2030年,其中提到,推进光芯片关键装备研发制造,大力推动刻蚀机、键合机、外延生长设备及光矢量参数网...